磁过滤真空弧制备纳米薄膜装置的研究
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磁过滤真空弧制备纳米薄膜装置的研究
论文目录
摘要
第1-7 页
ABSTRACT
第7-13 页
第一章 阴极弧及磁过滤系统
第13-24 页
第一节 阴极弧放电及其形态
第13-15 页
· 电弧历史发展
第13 页
· 弧斑的描述和阴极弧斑放电的基本特征
第13-15 页
第二节 弧斑放电的机理分析
第15-19 页
· 电子的热场致发射理论模型
第15-16 页
· 电子爆裂发射模型
第16-17 页
· 磁场对弧斑运动的影响
第17-19 页
第三节 真空电弧的击穿及电弧稳定性
第19-21 页
第四节 磁过滤系统
第21-24 页
· 直线型结构
第21-22 页
· 曲线型结构
第22 页
· 90°弯曲磁过滤器
第22-24 页
第二章 装置设计
第24-42 页
引言
第24 页
第一节 高压脉冲大电流电源的设计和搭建
第24-32 页
· 电源电路原理框图
第24 页
· 脉冲形成网络(PFNs)
第24-27 页
· 高压脉冲大电流电源
第27-30 页
· 触发发生器的设计
第30-32 页
第二节 电源装置试验
第32-35 页
· 平板型晶闸管(SCR)的开关功能测试
第32-33 页
· 利用电源对两碳棒进行尖端弧放电
第33-35 页
第三节 放电系统与磁过滤弯管装置
第35-38 页
· 放电系统的结构
第35-37 页
· 磁过滤弯管装置
第37-38 页
· 透明石英玻璃筒电极装置
第38 页
第四节 真空制膜系统
第38-41 页
小结
第41-42 页
第三章 磁过滤弯管中带电粒子的数值分析与计算
第42-60 页
引言
第42 页
第一节 电磁场的数值计算
第42-45 页
· 电磁场数值分析法的分类与比较
第42-44 页
· 有限元分析法的介绍
第44-45 页
第二节 螺线管中带电粒子的运动方法的主要算法
第45-49 页
· 螺线管空间方程的算法
第45-46 页
· 螺线管中磁力线的算法
第46-49 页
第三节 计算机中模拟带电粒子的运动轨迹
第49-59 页
· 90°螺线管的编程方程及图象
第49-52 页
· 螺线管中磁力线的编程方程及图象
第52-55 页
· 等离子运动轨迹的编程方程及图象
第55-59 页
小结
第59-60 页
第四章 空心阴极等离子体探针诊断
第60-67 页
引言
第60 页
第一节 空心阴极放电及其伏安特性曲线
第60-62 页
· 空心阴极放电
第60 页
· 伏安特性曲线
第60-62 页
第二节 移动式单探针诊断空心阴极等离子体
第62-66 页
· 电压对等离子体的影响
第63-64 页
· 气压对等离子体的影响
第64-65 页
· 不同位置等离子体的分布
第65 页
· Langmuir单探针Ⅰ—Ⅴ曲线拐点分析
第65-66 页
小结
第66-67 页
第五章 总结
第67-69 页
参考文献
第69-72 页
攻读学位期间发表的学术论文
第72-73 页
致谢
第73 页
本篇论文共
73
页,
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