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磁过滤真空弧制备纳米薄膜装置的研究

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磁过滤真空弧制备纳米薄膜装置的研究
论文目录
 
摘要第1-7 页
ABSTRACT第7-13 页
第一章 阴极弧及磁过滤系统第13-24 页
  第一节 阴极弧放电及其形态第13-15 页
    · 电弧历史发展第13 页
    · 弧斑的描述和阴极弧斑放电的基本特征第13-15 页
  第二节 弧斑放电的机理分析第15-19 页
    · 电子的热场致发射理论模型第15-16 页
    · 电子爆裂发射模型第16-17 页
    · 磁场对弧斑运动的影响第17-19 页
  第三节 真空电弧的击穿及电弧稳定性第19-21 页
  第四节 磁过滤系统第21-24 页
    · 直线型结构第21-22 页
    · 曲线型结构第22 页
    · 90°弯曲磁过滤器第22-24 页
第二章 装置设计第24-42 页
  引言第24 页
  第一节 高压脉冲大电流电源的设计和搭建第24-32 页
    · 电源电路原理框图第24 页
    · 脉冲形成网络(PFNs)第24-27 页
    · 高压脉冲大电流电源第27-30 页
    · 触发发生器的设计第30-32 页
  第二节 电源装置试验第32-35 页
    · 平板型晶闸管(SCR)的开关功能测试第32-33 页
    · 利用电源对两碳棒进行尖端弧放电第33-35 页
  第三节 放电系统与磁过滤弯管装置第35-38 页
    · 放电系统的结构第35-37 页
    · 磁过滤弯管装置第37-38 页
    · 透明石英玻璃筒电极装置第38 页
  第四节 真空制膜系统第38-41 页
  小结第41-42 页
第三章 磁过滤弯管中带电粒子的数值分析与计算第42-60 页
  引言第42 页
  第一节 电磁场的数值计算第42-45 页
    · 电磁场数值分析法的分类与比较第42-44 页
    · 有限元分析法的介绍第44-45 页
  第二节 螺线管中带电粒子的运动方法的主要算法第45-49 页
    · 螺线管空间方程的算法第45-46 页
    · 螺线管中磁力线的算法第46-49 页
  第三节 计算机中模拟带电粒子的运动轨迹第49-59 页
    · 90°螺线管的编程方程及图象第49-52 页
    · 螺线管中磁力线的编程方程及图象第52-55 页
    · 等离子运动轨迹的编程方程及图象第55-59 页
  小结第59-60 页
第四章 空心阴极等离子体探针诊断第60-67 页
  引言第60 页
  第一节 空心阴极放电及其伏安特性曲线第60-62 页
    · 空心阴极放电第60 页
    · 伏安特性曲线第60-62 页
  第二节 移动式单探针诊断空心阴极等离子体第62-66 页
    · 电压对等离子体的影响第63-64 页
    · 气压对等离子体的影响第64-65 页
    · 不同位置等离子体的分布第65 页
    · Langmuir单探针Ⅰ—Ⅴ曲线拐点分析第65-66 页
  小结第66-67 页
第五章 总结第67-69 页
参考文献第69-72 页
攻读学位期间发表的学术论文第72-73 页
致谢第73 页

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