BaM铁氧体薄膜的制备及性能研究



BaM铁氧体薄膜的制备及性能研究

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BaM铁氧体薄膜的制备及性能研究

论文目录
摘要	第1-5 页
ABSTRACT	第5-8 页
第一章绪论	第8-15 页
· 引言	第8-9 页
· 钡铁氧体薄膜(BaM)研究进展	第9-14 页
· 钡磁铅石型六角铁氧体材料的结构	第9-11 页
· BaM 薄膜的几种主要制备方法和研究现状	第11-14 页
· 存在的问题和发展趋势	第14 页
· 本文的研究内容和方法	第14-15 页
第二章钡铁氧体薄膜的制备及性能研究	第15-42 页
· 钡铁氧体靶材的制备	第15-19 页
· 实验设备及原料	第15-16 页
· 靶材的制备工艺	第16-19 页
· 钡铁氧体薄膜的制备	第19-42 页
· 磁控溅射原理	第19-21 页
· 实验方法	第21-24 页
· 薄膜的沉积速率以及影响因素	第24-29 页
· 薄膜成分的分析	第29-30 页
· 基底温度对薄膜性能的影响	第30-33 页
· 氧分压的影响	第33-37 页
· 溅射功率对薄膜性能以及形貌的影响	第37-42 页
第三章钡铁氧体多层膜的制备及性能研究	第42-53 页
· 引言	第42 页
· (Al/BaM)_n多层膜的制备	第42-44 页
· (MgO/BaM)_n多层膜的制备	第44-46 页
· (BaFe_(12)O_(19)/ BaFe_(12)O_(19))_n多层膜的制备	第46-49 页
· 退火时间对自缓冲层多层膜的影响	第49-53 页
第四章结论与展望	第53-55 页
· 结论	第53-54 页
· 论文工作展望	第54-55 页
致谢	第55-56 页
参考文献	第56-59 页
攻读硕士学位期间取得的研究成果	第59-60 页

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