六角钡铁氧体薄膜的制备及其结构和磁性能的研究



六角钡铁氧体薄膜的制备及其结构和磁性能的研究

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六角钡铁氧体薄膜的制备及其结构和磁性能的研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-10页
第一章绪论	第10-21页
· 引言	第10-11页
· 微波铁氧体材料发展历史	第11页
· 六角钡铁氧体薄膜的结构与性质	第11-13页
· 钡铁氧体的结构	第12页
· 钡铁氧体的性质	第12-13页
· 钡铁氧体薄膜的研究现状	第13-19页
· 溶胶-凝胶（sol-gel）法	第13-14页
· 对向靶溅射法与射频溅射法	第14-16页
· 脉冲激光沉积（PLD）法	第16-19页
· 论文选题及研究方案	第19-21页
· 论文选题依据	第19页
· 论文技术路线及方案	第19-21页
第二章钡铁氧体薄膜的制备方法与表征原理	第21-31页
· 钡铁氧体薄膜的制备方法	第21-22页
· 脉冲激光沉积（PLD）以及系统简介	第22-25页
· PLD 制膜原理[38]	第23-24页
· PLD 设备系统简介	第24-25页
· PLD 用陶瓷靶材的制备	第25页
· 薄膜的微结构分析方法	第25-31页
· XRD 原理	第25-27页
· AFM 原理	第27-28页
· SEM 原理	第28-29页
· 磁滞回线的测试	第29-31页
第三章钡铁氧体薄膜的PLD 工艺研究	第31-47页
· 实验靶材的制备	第31-32页
· 钡铁氧体薄膜的沉积参数研究	第32-36页
· 温度系列	第32-33页
· 气氛气压系列	第33-35页
· 激光功率系列	第35-36页
· 退火工艺对钡铁氧体薄膜结构和性能的影响	第36-39页
· 退火温度	第37-38页
· 退火时间	第38-39页
· 种子层诱导的厚膜钡铁氧体的工艺研究	第39-43页
· 原位温度对厚膜钡铁氧体的结构和磁性的影响	第40-41页
· 原位氧气压对厚膜钡铁氧体的结构和磁性的影响	第41-43页
· 膜厚对钡铁氧体形貌的影响	第43-46页
· 本章小结	第46-47页
第四章缓冲层对钡铁氧体薄膜特性的影响研究	第47-58页
· 引言	第47页
· TIN 缓冲层对钡铁氧体结构和磁性的作用	第47-52页
· TiN 缓冲层的制备	第47-49页
· TiN 缓冲的蓝宝石上薄膜钡铁氧体的制备	第49-51页
· TiN 缓冲的蓝宝石上厚膜钡铁氧体的制备	第51-52页
· MGO 缓冲层对钡铁氧体结构和磁性的作用	第52-57页
· MgO 缓冲层的制备	第53-54页
· MgO 缓冲的蓝宝石上薄膜钡铁氧体的制备	第54-55页
· MgO 缓冲的蓝宝石上厚膜钡铁氧体的制备	第55-57页
· 本章小结	第57-58页
第五章钡铁氧体薄膜与GAN 的集成生长初探	第58-64页
· 引言	第58页
· 钡铁氧体直接沉积在GAN 外延片上	第58-60页
· 钡铁氧体沉积在MGO 缓冲的GAN 外延片上	第60-63页
· 在MgO 缓冲的GaN 上制备薄膜钡铁氧体	第60-61页
· 在MgO 缓冲的GaN 上制备厚膜钡铁氧体	第61-63页
· 本章小结	第63-64页
第六章主要结论及展望	第64-67页
· 主要结论	第64页
· 展望	第64-67页
· 存在的问题及可能的解决方案	第65页
· 钡铁氧体薄膜的结构、界面及磁性能的表征手段	第65-67页
致谢	第67-68页
参考文献	第68-72页
攻硕期间取得的研究成果	第72-73 页

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