MOD法制备YBCO薄膜及工艺研究
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MOD法制备YBCO薄膜及工艺研究
论文目录
摘要
第1-5 页
Abstract
第5-8 页
第一章 绪论
第8-21 页
· 高温超导材料发展历程
第8 页
· 高温超导薄膜发展现状
第8-11 页
· YBCO高温超导体的结构
第11-13 页
· 高温超导薄膜制备技术
第13-19 页
· 衬底基片的要求与选择
第14-17 页
· 基片的清洗
第17-18 页
· 超导薄膜的制备方法
第18-19 页
· 本课题的研究目的及内容
第19-21 页
第二章 实验基本原理及用品
第21-27 页
· 研究思路
第21-22 页
· 试验基本原理
第22-24 页
· TFA-MOD外延成相反应机理
第23 页
· 无氟-MOD外延成相过程
第23-24 页
· 实验设备
第24-25 页
· 实验主要化学试剂
第25-26 页
· 超导薄膜性能测试
第26-27 页
第三章 YBCO稳定溶胶配制
第27-33 页
· 溶胶制备基本原理
第27-28 页
· 前驱物选择对比
第28-30 页
· YBCO溶胶制备
第30-33 页
第四章 YBCO薄膜制备
第33-54 页
· 薄膜制备基本原理
第33-35 页
· 薄膜制备工艺
第35-37 页
· 真空干燥
第37-38 页
· 涂后热处理
第38-50 页
· 热处理条件下的微观反映机理
第38-44 页
· 热处理条件选择
第44-50 页
· 各阶段热处理工艺
第50-54 页
· 方案一
第52-53 页
· 方案二
第53 页
· 方案三
第53-54 页
第五章 分析与讨论
第54-74 页
· 引言
第54 页
· 样品测试分析与讨论
第54-74 页
· 方案一样品分析讨论
第54-58 页
· 方案二样品分析讨论
第58-64 页
· 方案三样品分析与讨论
第64-74 页
结论
第74-75 页
致谢
第75-76 页
参考文献
第76-81 页
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果
第81 页
本篇论文共
81
页,
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