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MOD法制备YBCO薄膜及工艺研究

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MOD法制备YBCO薄膜及工艺研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
第一章 绪论第8-21 页
  · 高温超导材料发展历程第8 页
  · 高温超导薄膜发展现状第8-11 页
  · YBCO高温超导体的结构第11-13 页
  · 高温超导薄膜制备技术第13-19 页
    · 衬底基片的要求与选择第14-17 页
    · 基片的清洗第17-18 页
    · 超导薄膜的制备方法第18-19 页
  · 本课题的研究目的及内容第19-21 页
第二章 实验基本原理及用品第21-27 页
  · 研究思路第21-22 页
  · 试验基本原理第22-24 页
    · TFA-MOD外延成相反应机理第23 页
    · 无氟-MOD外延成相过程第23-24 页
  · 实验设备第24-25 页
  · 实验主要化学试剂第25-26 页
  · 超导薄膜性能测试第26-27 页
第三章 YBCO稳定溶胶配制第27-33 页
  · 溶胶制备基本原理第27-28 页
  · 前驱物选择对比第28-30 页
  · YBCO溶胶制备第30-33 页
第四章 YBCO薄膜制备第33-54 页
  · 薄膜制备基本原理第33-35 页
  · 薄膜制备工艺第35-37 页
  · 真空干燥第37-38 页
  · 涂后热处理第38-50 页
    · 热处理条件下的微观反映机理第38-44 页
    · 热处理条件选择第44-50 页
  · 各阶段热处理工艺第50-54 页
    · 方案一第52-53 页
    · 方案二第53 页
    · 方案三第53-54 页
第五章 分析与讨论第54-74 页
  · 引言第54 页
  · 样品测试分析与讨论第54-74 页
    · 方案一样品分析讨论第54-58 页
    · 方案二样品分析讨论第58-64 页
    · 方案三样品分析与讨论第64-74 页
结论第74-75 页
致谢第75-76 页
参考文献第76-81 页
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果第81 页

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